数码显微镜23个#电子材料7个#质量控制5个#DVM6#研究开发1个微电子和电子学的革新导致了样品越来越小,传统的双目显微镜也在不断面临挑战。然而数码显微镜不使用目镜,而是用户可直接通过显示器进行观察的特点,让微电子的观察效率有了很大的提高。
控制(QC/QA)或开发(R&D)时,一些微电子器件的生产,如硬盘驱动器,要求对其各个部件进行检查和质量控制,全尺寸:从宏观(>2毫米)->介观尺度(10mm~25μm)->微观尺度(1000μm~500nm)->纳米尺度(<500nm)。需要使用数码显微镜对零件快速进行大视野成像,以及精准的尺寸计量。从而满足更快的改进制作规范以及生产需求,优化整个工作流程。使用徕卡DVM6数码显微镜的以下性能,可快速得出检查的可靠结果。本报告的重点将是大视野、测量功能及倾斜角度(下述红色字体部分)。
自动跟踪和存储的可重复,显微镜最重要的硬件参数可记忆(编码),例如,使用的倍数,照明和相机设置等参数条件可快速重现;
超大变焦范围16:1,镜头切换支持热插拔;
二维尺寸测量及三维尺寸测量
快速角度旋转,倾斜角度不同视角观察样品;
集成LED(发光二极管)环形光和同轴光,具有多方向的照明模式;
数字快照和数字10MP的数码相机,高画质成像;
XY拼图功能和Z轴扫描成像功能,可拍摄大范围大景深的图像;
DVM6数码显微镜满足微观尺寸(10mm~500nm)的观察,例如在电子零件领域用于测量硬盘驱动器上零件通孔的直径、周长和深度分布,以及焊点的长度、面积和高度分布。