工业测量显微镜的功能及应用

　　工业测量显微镜又称工具显微镜，广泛应用于许多行业;

　　特别是在电子行业，广泛应用于电路板、液晶模块、IC、光通信、模具五金、汽车工业、计量工业及其它领域;

　　将XYZ三轴精密光栅尺与XYZ三轴测量、超视线XY几何测量相结合。

　　一步到位观察、测量和处理。

　　工业化测量显微镜

　　工业化测量显微镜有折射光和透射光两种照明方法。

　　不同的照明方式，不同的观察图像，因此需要根据不同的工件和测量位置，选择最合适的照明方式。

　　折射光，透射光路图

　　NO.1散射照明

　　★选择通过轮廓光观察的方法，特别是在观察和测量轮廓时，边缘清晰易观察。

　　NO.2反射照明

　　★用于分析和测量表面特性的垂直直射测量工件的表面。

　　采用工业测量显微镜有四种观察方法，即：明场观察、暗场观察、偏光观察、微分干预。(DIC)观察。

　　NO.1明场观察

　　★在样品表面垂直直射，适用于金属、印刷电路板、IC、观察液晶ITO浅孔表面。

　　NO.2暗场观察

　　★通过观察工件发出的散射光，可以观察PCB油墨的颜色、灰尘、划痕间隙、凹凸以及在明场下无法观察到的低反射样品。

　　NO.3偏光观察

　　★对半导体材料、液晶、晶体、金属组织、矿物、纤维等表面观察有偏光特征的物质进行观察。

　　NO.4微分干预(DIC)观察

　　★使用DIC棱镜将光源分成两束，产生明暗度和对比度的变化，可以进行三维观察。适用于观察液晶模块的压焊颗粒、硅片的晶体缺陷、磁头磨面的损坏检测、金属组织、矿石表面、涂层表面等。