电子显微镜碳薄厚度测量

　　碳绳子的脉冲挥发方法，简化了镀膜过程

　　电子显微镜样品涂装时，应时晶振片可以控制涂装厚度。这些晶振片以一定的频率震荡(新晶体时约6兆赫)。薄厚可以通过测量涂层前后的频率、涂层材料的比例和应时的几何位置来计算。

　　脉冲挥发的软件控制

　　然而，这种测量碳膜厚度的方法也有一些缺点。碳挥发产生的热量和光源会影响晶体振荡的频率。一段时间后，数值稳定后，可以获得合理的膜厚测量结果。图1和图2显示了随着时间的推移蒸发过程影响晶体振荡器频率的过程。Flash挥发用全功率燃烧整根碳绳。脉冲蒸发是由短特定电压产生的，沉积少量碳材料。Flash挥发可以获得更厚的膜层，但其结果仅受到碳绳的影响。在Flash过程中，样品产生大量的热量。当脉冲和脉冲挥发生时。

　　软体控制的碳绳脉冲蒸发是一种创新的方法(LeicaMicrosystems是LeicaEMACE镀膜机的新系列开发)，它简化了以前复杂的过程。每一个特定的短脉冲后，都会测量出每一个脉冲后的膜厚。信息将反馈到过程管理中，然后执行一个脉冲，或者成功地完成镀膜。这一方法首次满足了高度精确的要求，创造了1或2纳米厚的分析，无需经验即可完美再现。

　　无晶振膜厚度测量

　　若要对碳膜厚度进行评估，但没有晶振片检测系统，可选择简单的视觉检测方法。这也是一种非常有用的参考检测方法。

　　碳在镀金板或铝铂上挥发的碳会受到其厚度的影响，表现出明显的颜色差异(见下面的刻度)。盖板或检测箔通过磁控溅射镀膜约50纳米的金，或者直到看起来完全是金色。图为金色盖板，涂有不同厚度的碳。从左到右:无镀金，然后从10纳米碳膜层逐步增加5纳米，直到40纳米碳镀层。

　　如果没有晶振片检测系统，这种简单的检测方法也可以有效，但显然没有应时检测系统那么准确。涂层厚度在涂层过程结束后进行评估。因此，它不能在涂层过程中给出反馈。显然，这是一种粗略的评估方法，精度是/-几个纳米。它不能提供其他纳米沉积碳层的准确信息，也不准确。综合脉冲测量可以保持精度在0.5纳米范围内，同时确保再现性。